苏州卡斯图电子有限公司自主研发的无损红外透视显微技术，广泛交付于半导体（Semiconductor）领域公司、平板显示（FPD）公司、科研单位、高校及第三方实验室、军工企业，解决了该技术多年来被国外垄断的窘境，为国内外客户创造了更高的效益。

MIR800近红外显微镜是MIR系列自动化的集成产品，搭载自动传片机、四轴自动红外显微镜以及自动测量分析软件，实现此流程段无人化操作。该平台可以配置各种专业光学和照明配件。

应用范围：

•晶圆/芯片级CD（关键尺寸）测量

•精密MEMS和3D元件检测

•微电子封装检测

•叠加测量

•VCSEL孔径自动测量

MIR800 搭载6寸传片机系统

   图片仅供作外观参考，以实际交付为准

MIR800红外显微镜——VECSEL芯片无损红外透视显微解决方案

第二代半导体（硅基）

20世纪90年代以来，随着移动通信的快速发展，以光纤通信和互联网为基础的信息高速公路的兴起，以砷化镓、磷化铟为代表的第二代半导体材料开始涌现。

垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting laser)，VMK系列、MM系列近红外2D、2.5D多年来服务于技术量产VECSEL芯片企业的研发、品检、生产中，提供了高性价比的VECSEL全设计波段无损检测解决方案。

MIR系列红外显微镜——VECSEL芯片无损红外透视显微解决方案

第二代半导体（硅基）

20世纪90年代以来，随着移动通信的快速发展，以光纤通信和互联网为基础的信息高速公路的兴起，以砷化镓、磷化铟为代表的第二代半导体材料开始涌现。

国内消费电子代工厂，VCSEL无损穿透案例：

国内前三半导体电光器件、模块及系统的研发，销售和产业化公司，VCSEL无损穿透案例：

垂直腔面发射激光器（Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，简称VCSEL，又译垂直共振腔面射型激光）是一种半导体，其激光垂直于顶面射出，与一般用切开的独立芯片制程，激光由边缘射出的边射型激光有所不同。常规的金相显微镜无法观测VECSEL产品，以下为近红外显微镜MIR100拍摄的图片

第二代半导体（化合物半导体）图片

MIR系列已交付近30客户用于砷化镓GaAs、磷化铟InP检测分析。以下为MIR系列近红外显微镜拍摄效果图片。

第二代半导体（化合物半导体）自动测量图片

MIR系列为满足客户快速测量的需求，提供自动测量软件，测量快速准确。

配置清单