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HP1000G-CCR

HP1000G-CCR高温热台专为化学气相沉积、石墨烯生长设计,可用于显微镜/光谱仪,可用于气相沉积,石墨烯生长、高温材料等领域。可定制样品区。此款冷热台可在 30℃ ~ 1000℃ 范围内控温,同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台窗盖与台体构成一个气密腔,可以充入氮气、还原性气体、腐蚀性气体等。

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产品简介

HP1000G-CCR高温热台专为化学气相沉积、石墨烯生长设计,可用于显微镜/光谱仪,可用于气相沉积,石墨烯生长、高温材料等领域。可定制样品区。
此款冷热台可在 30℃ ~ 1000℃ 范围内控温,同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台窗盖与台体构成一个气密腔,可以充入氮气、还原性气体、腐蚀性气体等。


温控参数


温度范围

30℃ ~ 1000℃

加热块材质

氮化硅

传感器/温控方式

S型热电偶 / PID控制

Z大加热

+200℃/min (<850℃时); min="">850℃时)

Z小加热

+0.5℃/min

温度分辨率

0.1℃

温度稳定性

±1℃

软件功能

可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线


光学参数

适用光路

反射光路 *另有透射光路型号

窗片

可拆卸与更替的窗片

Z小物镜工作距离

8.8mm  *截面图中WD

上盖窗片观察

窗片范围Φ27mm,Z大视角±44°  *截面图中θ1


结构参数

加热区/样品区

20mm *20mm

腔高

3.5mm

*样品Z大厚度 = 样品腔高 – 样品衬底厚度

样品衬底

默认为刚玉坩埚(Φ7 mmx3 mm)

上盖

可调压力的窗盖,兼顾气密型与窗片旋转

气氛控制

气密腔,可充入还原性气体、腐蚀性气体

外壳冷却

通循环水,以维持外壳温度在常温附近

安装方式

水平安装 或 垂直安装

台体尺寸/重量

115 mm x 84 mm x 24 mm   / 1000g


配置列表

基本配置

HP1000G-CCR高温热台 、mK2000B温控器 、外壳循环水冷系统

可选配件

冷热台安装支架


功能特点

适用于 显微镜/光谱仪 的超高温应用

30℃~1000℃ 可编程控温

20mm加热区

可充入保护气体的气密腔(另有真空腔型号)

可从温控器或电脑软件控制,可提供软件SDK

*可做定制或改动,详询苏州卡斯图

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温控配件系列

用于Instec温控装置


适用范围

用于搭配Instec冷热台、Instec温控探针台、Instec温控晶圆夹盘、Instec冷热平板、Instec定制温控装置使用。


温控配件系列

安装支架:用于将温控装置固定在用户设备上

mK2000B温控器,含InstecAPP温控软件,温控装置必选

LN2-SYS液氮制冷系统:液氮泵+液氮罐+液氮管线

外壳循环水冷系统,帕尔贴式温控装置必选

MITO系列温控联用显微镜相机,含控制软件

LWDC2长工作距离聚光镜

真空系统:包括真空泵+真空管路,用于真空型温控装置


LN2-SYS液氮制冷系统

主要分为液氮泵和液氮罐两部分。使用时需用管路将温控装置串接在液氮罐和液氮泵之间,温控装置加热块内埋有封闭式进出管路,液氮泵受mK2000B控制进行抽气,把液氮从液氮罐内吸到温控装置的加热块中,实现温控装置主动降温。


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外壳循环水冷系统

用于温控装置的外壳/底座的冷却。温控装置加热/制冷时,外壳/底座温度会被带得很烫/很凉,危害周遭人员设备及设备自身。用循环水让外壳温度保持在常温附近,可以预防此灾害。


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mK2000B温控器

支持恒温、恒速率变温、暂停、编程温控功能。具有冷热独立的多段PID控制、可保存4套20段校准表等特点。可独立控制,也可从InstecAPP软件控制。


温度分辨率

±0.001℃ (热敏电阻),±0.01℃ (RTD),±0.1℃ (热电偶)

控制接口

USB虚拟串口 可选其他接口

可选项

LVDC线性可调直流电源,用于降低电噪音

温控软件

InstecAPP,可提供多语言SDK


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安装支架

针对用户设备定制,可让热台水平固定/垂直固定等,垂直光路/水平光路等的用户设备皆可适用。通常有:

圆环式(用于圆形载物台),平板式(用于方形载物台)、

载物台式(用于代替设备载物台)、立式(用于水平光路)。


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