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HCS621GXY

HCS621GXY专为显微镜/光谱仪设计。此款冷热台可在 -190℃ ~ 600℃ 范围内控温，同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。此外冷热台带有可从密封腔外移动样品的XY样品微分移动尺。此外另有真空腔型号HCS421VXY提供。

全国服务热线：0512-6603 8633

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产品详情

产品简介

温控参数

温度范围	-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）
加热块材质	银
传感器/温控方式	100Ω铂RTD / PID控制
Z大加热/制冷速度	+150℃/min （100℃时） -50℃/min （100℃时）
Z小加热/制冷速度	±0.01℃/min
温度分辨率	0.01℃
温度稳定性	±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
软件功能	可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

光学参数

适用光路	透射光路和反射光路
窗片	可拆卸与更替的窗片
Z小物镜工作距离	5 mm *截面图中WD
Z小聚光镜工作距离	11.5 mm *截面图中CWD
透光孔	φ2 mm *截面图中φVA
上盖窗片观察	窗片范围φ18mm，Z大视角±58° *截面图中θ1
底部窗片观察	窗片范围φ18mm，Z大视角±19° *截面图中θ2
负温下窗片除霜	吹气除霜管路

结构参数

加热区/样品区	Ø26 mm *使用XY移动尺时样品区由样品衬底决定
样品腔高	2.5 mm *样品Z大厚度 = 样品腔高 – 样品衬底厚度
样品衬底	默认为石英坩埚（内径>9mm/厚0.5mm） *可根据用户使用需求更换为其他
放样	水平抽出上盖后置入样品
样品XY移动尺	可从密封腔外移动样品，分辨率10μm，行程10mm
气氛控制	气密腔，可充入保护气体
外壳冷却	可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
安装方式	水平安装或垂直安装
台体尺寸/重量	159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g

配置列表

基本配置

HCS621GXY冷热台、mK2000B温控器

可选配件

冷热台安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、、

真空系统（仅用于真空型号）

功能特点

适用于显微镜/光谱仪

-190℃~600℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）

直径26 mm带通光孔的加热区

在XY方向移动样品的微分移动尺

可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

*可做定制或改动，详询苏州卡斯图

温控配件系列

用于Instec温控装置

适用范围

用于搭配Instec冷热台、Instec温控探针台、Instec温控晶圆夹盘、Instec冷热平板、Instec定制温控装置使用。

温控配件系列

安装支架：用于将温控装置固定在用户设备上

mK2000B温控器，含InstecAPP温控软件，温控装置必选

LN2-SYS液氮制冷系统：液氮泵+液氮罐+液氮管线

外壳循环水冷系统，帕尔贴式温控装置必选

MITO系列温控联用显微镜相机，含控制软件

LWDC2长工作距离聚光镜

真空系统：包括真空泵+真空管路，用于真空型温控装置

LN2-SYS液氮制冷系统

主要分为液氮泵和液氮罐两部分。使用时需用管路将温控装置串接在液氮罐和液氮泵之间，温控装置加热块内埋有封闭式进出管路，液氮泵受mK2000B控制进行抽气，把液氮从液氮罐内吸到温控装置的加热块中，实现温控装置主动降温。

外壳循环水冷系统

用于温控装置的外壳/底座的冷却。温控装置加热/制冷时，外壳/底座温度会被带得很烫/很凉，危害周遭人员设备及设备自身。用循环水让外壳温度保持在常温附近，可以预防此灾害。

mK2000B温控器

支持恒温、恒速率变温、暂停、编程温控功能。具有冷热独立的多段PID控制、可保存4套20段校准表等特点。可独立控制，也可从InstecAPP软件控制。

温度分辨率	±0.001℃ (热敏电阻)，±0.01℃ (RTD)，±0.1℃ (热电偶)
控制接口	USB虚拟串口可选其他接口
可选项	LVDC线性可调直流电源，用于降低电噪音
温控软件	InstecAPP，可提供多语言SDK

安装支架

针对用户设备定制，可让热台水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用户设备皆可适用。通常有：

圆环式（用于圆形载物台），平板式（用于方形载物台）、

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