MSM-200
双面观察/对比测量专用显微镜
用于对比晶圆上面/下面芯片结构的位置偏差
产品介绍
苏州卡斯图电子有限公司生产的MSM200是设计用于将晶圆的上面/下面晶体结构光学/影像同轴重叠，通过目镜或一个相机显示在屏幕上。
双面的结构偏差快速观察，位置的偏移量可以使用载物台的光栅信号读取器直接显示或通过影像软件进行多功能测量。
多组物镜倍率可供选择：5X/10X/20X/50X/100X
MSM200适用于4/6/8/12英寸晶圆以及小片光刻产品。
结构示意图
测量介绍
MSM200双面测量显微镜特点：
应用
确认通孔垂直偏差
确认晶圆结构重合偏差
规格
物 镜 | 放大倍率 | 50X | 100X | 200X | 500X |
上面 | LMPLFLN5X | LMPLFLN10X | LMPLFLN20X | LMPLFLN50X | |
下面 | LMPLFLN5X | LMPLFLN10X | LMPLFLN20X | LMPLFLN50X | |
目镜 | 一对10X(含十字刻画线) | ||||
上物镜行程 | 30mm | ||||
下物镜行程 | 15mm | ||||
滤光器 | 上面：绿色；下面：红色 | ||||
载物台行程 | 300*200mm | ||||
晶圆 | 4/6/8/12英寸 | ||||
托盘旋转 | 360° | ||||
上下照明 | 高亮LED光源 | ||||
工件厚度 | 30mm | ||||
矫正片 | 光轴对准校正 | ||||
微信二维码
网站二维码