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PSM1000

PSM-1000 工业显微镜采用全新的一体化设计,操作简单、方便,性能可靠, 功能齐全,具有很好的光学成像质量,造型新颖,使用方便,并具有丰富的扩展功能,可广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究领域。

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PSM-1000 工业显微镜采用全新的一体化设计,操作简单、方便,性能可靠, 功能齐全,可广泛应用于冶金、半导体、电子等行业的制造和研究领域。


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人机工程头部

PSM-1000E双目观察头可以 在3 -30°转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。


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管镜

PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR 和 2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其中1X NUV对355nm 和532nm波长进行了优化, 1X NIR对532nm和1064nm 波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率。


管镜.png



光路切换拉杆

通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光全部的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。


光路切换拉杆.png



偏光观察

主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。


偏光观察.png



调焦机构

PSM-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构可承载45磅(20.4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后,仍然能够正常工作。


调教机构.png



转换器

PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。


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物镜

PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜, 提供了很好的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。


物镜.png



照明系统

采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。


照明系统.png



数码摄像系统

根据所使用的CCD摄像机的 CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上, 组成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。


数码摄像系统.png


探测工作站

PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。


探测工作站.png



激光装置

PSM-1000的摄像接口处装有激光定位销,双目头前留有安装激光滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光滤色片安装上。

注:

在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光滤色片而产生的问题,麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。


激光装置.png



PSM-1000主要技术参数


目镜

WF10X/24,视场直径0 24mm,独立矫正色差

双目头

瞳距调节范围55 75mm

上主体

分光比为50:50或0:100

管镜

1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS

转换器

4孔,位置可调

物镜

长工作距离或超长工作距离; 无限远平场复消色差; 齐焦距离: 95mm; 连接螺纹: M26X1/36"(0.706); 齐焦机构(可选)

调焦机构

调焦行程:52mm;粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转;微动手轮μm/格;承载重量:45磅(20.4Kg)

照明系统

同轴垂直照明,可变孔径光栏(0 0.8~ 0 6)

冷光源

输入电压:110V或220V; 150W/21V;卤素灯遥控器(可选)

移动载物台

XY行程:75X50mm

人机工程头部

转动范围3"-30"


PSM-1000配置表


名称

物料编号

PSM-1000

PSM-1000S

PSM-1000E

数量

目镜WF10X/24(含护眼罩)


SG02S0173

2只

目镜 WF15X/16


SG02T0316

2只

目镜 WF20X/12


SG02T0317

2只

铰链式双目


SP100243

/

1

铰链式双目


SP100243A

/

/

1

上主体组


SW0199BD

/

1

变角度上主体组


AP9977730

/

/

1

下主体组


SW0199BE

/

1

下主体组(带3个偏光插孔)


SW0199Y1

/

/

1

四孔转换器组


SW011715A

1

调焦组


SW0199BG

1

底座组


SW010282A

1

工业显微镜移动式载物台


SW010338P

1

长工作距离复消色差物镜*

ELWD2X

SG01S102C3

1

ELWD5X

SG01S162C3

1

ELWD10X

SG01S022C3

1

ELWD20X

SG01S032C3

1

ELWD50X

SG01S122C3

1

ELWD100X

SG01S062C3

1

超长工作距离复消色差物镜*

ULWD50X

SG01S122C5

1

ULWD100X

SG01S062C5

1

可调焦长工作距离复消色差物镜*

ELWD2X

SG01S102C4

1

ELWD5X

SG01S162C4

1

ELWD10X

SG01S022C4

1

ELWD20X

SG01S032C4

1

ELWD50X

SG01S122C4

1

ELWD100X

SG01S062C4

1

可调焦超长工作距离复消色差物镜*

ULWD50X

SG01S122C7

1

ULWD100X

SG01S062C7

1

0.5X摄像接筒组(接2/3"CCD)


SP100363

1

0.4X摄像接筒组(接1/2"CCD)


SP100365B

1

1X摄像接筒组(接2/3"CCD)


SP100386

1

MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套软件



1

检偏插片


SW01991Z

1

起偏插片


SW01992B

/

1

起偏插片(可旋转)


SW01992BA

/

/

1

中间插片(可旋转)


SW01993H

/

/

1

调中钥匙


SW0199BH

2

垫圈(安装激光滤色片时使用)


SW018880

2

十字槽盘头螺钉M3X10(安装激光滤色片时使用)


SS0120594

3

转接环(数量根据订单)


SW011840

1~4

使用手册冲文,PSM1000机)


SP010980

1

保修卡


SP160004

1

物镜颜色标贴(含灰、红、黄、绿、蓝、白)


ST7033

1套

合格证


SP150001

1

工业显微镜光纤(输出端为直头)


SP990073A

1

工业显微镜光纤(输出端为弯头)


SP990073B

1

MITUTOY O光纤专用接头(MITUTO YO型光纤专用)


SP99008A

1

MLC-150C冷光源


SP120070

1

注:带"* "号的为外购件,"•"表示标配,"O"表示选配,PSM-1000E暂不供货。


PSM-7000系统配置图


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图像处理软件简介

Motic Quality Professional主要适用于机械工业模具测量和电子工业测量。系统由成像系统(包括测量工作平台、CCD摄像头)、电脑主机和工业测量软件三部分构成,可以完成精密模具测量(测量精度可达到2微米),电子工业的电路板分析以及其他几何测量工作。




测量步骤

通过CCD读入视频流成像或导入图像文件到工作区(视频窗口),运用各种采集元素工具采集需要的几何元素(点、线、圆等),然后可以通过系统提供的各种构造几何元素的方法(圆、直线、弧、椭圆拟合)形成新的几何元素,通过分析元素关系来得到测量的结果。或者通过对测量目标进行形态分析得到测量数据。


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平台测量操作

本系统可用于单视场(one field)和多视场测量(multi fields),适用于各种不同倍数的物镜。单视场测量指在一个CCD视场下,无光栅针对单幅图像的测量;多视场测量是指在有光栅的测量平台下对物体进行测量,可以满足大尺寸物体的测量。

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动态视频

本系统支持视频流浏览模式,可在动态视频下完成测量操作,也可以关闭视频流浏览模式,对静态图像进行测量操作。


功能简介

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