1. 引言

垂直腔面发射激光器（VCSEL）的氧化孔径（Oxidation Aperture）是其关键结构之一，直接影响器件的电流限制、光学模式及热稳定性。准确测量氧化孔径尺寸（通常3-30μm）对VCSEL的研发与量产很重要。然而，由于氧化层位于多层外延结构内部，传统光学显微镜难以穿透，而SEM等破坏性方法无法用于在线检测。 

近红外显微镜（NIR Microscopy） 凭借其对半导体材料的穿透能力，成为VCSEL氧化孔径测量的理想工具。本文将深入探讨其测试原理、系统组成（红外相机、红外物镜、自动分析软件），并结合苏州卡斯图电子有限公司的MIR100近红外显微镜，分析该技术的优势、挑战及解决方案。

 2. 近红外显微镜测量VCSEL氧化孔径的原理

 2.1 光学穿透机制

VCSEL通常基于GaAs/AlGaAs材料体系，其氧化层（AlOₓ）位于多层DBR（分布式布拉格反射镜）之间。近红外光（700-2500nm）在该波段具有以下特性：

- GaAs在>1100nm波长下吸收率降低，允许光穿透数微米深度。

- AlOₓ与AlGaAs的折射率差异（Δn≈0.2-0.5），在近红外波段形成高对比度反射信号。

- 红外相机（如InGaAs传感器）捕捉反射图像，并通过算法提取氧化孔径边缘。 

 2.2 测量系统组成

近红外显微镜测量VCSEL氧化孔径的关键组件包括：

1. 红外光源（1300-1550nm激光或LED） 

2. 红外物镜（长工作距离、高NA值，如20X NA=0.4） 

3. 红外相机（InGaAs或Ge基传感器，分辨率1-5μm/pixel） 

4. 自动测量分析软件（边缘检测、阈值分割、尺寸计算） 

以苏州卡斯图MIR100近红外显微镜为例：

- 红外物镜：采用高NA红外优化物镜，确保高分辨率和穿透深度。 

- 红外相机：配备高灵敏度InGaAs相机，信噪比（SNR）>60dB。 

- 软件分析：集成自动孔径测量算法，支持批量检测和SPC统计。 

 3. 近红外显微镜测量解决方案

 3.1 标准测量流程

1. 样品放置：VCSEL芯片无需制样，直接置于载物台。 

2. 光学对焦：通过红外相机实时成像，调整Z轴到氧化层清晰可见。 

3. 图像采集：多波长扫描（如1300nm/1550nm）优化对比度。 

4. 图像处理： 

   - 平场校正（消除光照不均） 

   - 边缘增强（Sobel/Canny算子） 

   - 阈值分割（区分氧化/非氧化区域） 

5. 孔径计算：采用最小二乘椭圆拟合，输出直径、圆度等参数。 

 3.2 卡斯图MIR100的优化方案

- 共焦成像技术：减少多层反射干扰，提升信噪比。 

- 自动对焦算法：基于图像清晰度评价函数，确保测量一致性。 

- 批量测量模式：支持晶圆级Mapping检测，每小时可测>1000颗芯片。 

 4. 技术优势与局限性

 4.1 优势（对比SEM、可见光显微镜）

 4.2 局限性及解决方案

1. 分辨率限制（~0.5μm） 

   - 解决方案：采用超分辨率算法（如深度学习去卷积）。 

2. 多层DBR干扰 

   - 解决方案：多波长融合成像（如MIR100支持1300nm/1550nm双波段扫描）。 

3. 边缘模糊（氧化过渡区） 

   - 解决方案：相位对比成像（增强边缘信号）。 

 5. 实际应用案例

 5.1 量产检测（卡斯图MIR100在某VCSEL厂商的应用）

- 检测目标：氧化孔径尺寸（8±0.5μm） 

- 测量结果： 

  - 平均测量值：8.12μm 

  - 标准差：±0.18μm（CPK>1.67） 

- 效益： 

  - 不良率降低30% 

  - 检测效率提升5倍（相比SEM） 

 5.2 研发阶段应用

通过MIR100测量不同氧化工艺的VCSEL，发现：

- 氧化时间与孔径尺寸呈线性关系（R²=0.98），验证工艺可控性。 

- 孔径均匀性（晶圆级Mapping）可优化反应室气流设计。 

6. 未来发展趋势

1. 更高分辨率：近场光学（Nano-IR）突破衍射空间。 

2. 智能化分析：AI自动分类缺陷（如氧化不均匀、孔径变形）。 

3. 多模态集成：结合光致发光（PL）和热成像，实现全面表征。 

 7. 结论

近红外显微镜（如卡斯图MIR100）凭借其非破坏性、高精度、效率快的特点，已成为VCSEL氧化孔径测量的主流方案。相较于SEM和可见光显微镜，它在量产监控、工艺优化方面具有显著优势。未来，随着超分辨率技术和AI算法的引入，该技术有望进一步提升到纳米级检测水平，满足下一代VCSEL（如用于LiDAR、光通信）的更高要求。 

苏州卡斯图电子有限公司的MIR100近红外显微镜，凭借其高灵敏度InGaAs相机、自动分析软件和稳定成像系统，为VCSEL制造商提供了可靠的测量解决方案，助力行业实现更高良率和更优性能。