Motic MET80L/MET120L金相显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保成像的光学性能,还具有稳定的机架结构,使之低机身、高刚性、高稳定性,很大的提高了显微镜的抗振能力。于可适用不同尺寸的晶圆检查(4,5,6,8,12)、液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验。
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Motic全新推出的MET80L/MET120L金相顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保成像的光學性能,还具有稳定的机架结构,使之低机身、高刚性、高稳定性,很大的提高了显微镜的抗振能力,使MET80L/MET120L金相顯微鏡可廣泛的應用于工業檢測及大型試樣檢測,特别是LCD液晶屏行业、晶圆行业的理想检测工具。
1.采用前置低位粗微同軸調焦系列,配合渦輪渦杆的自鎖結構,使之在超大負荷工作下也不會出現下滑現象,以及長期使用的可靠性。
2.超大行程移動平臺,Max大移動範圍:305mmX305mm,可適用于12”的晶圓、LCD或FPD 檢測,也可用于小尺寸樣品的陈列檢測,通过 切换离合器手柄可实現全行程範圍内的快速移動。
3.多樣的照明器可供選擇:12V50W卤素燈明場落射照明,12V50W卤素燈明暗場落射照明,LED明場落射照明,可以根据需要選擇,电器全部内置主机,方便操作。
4.高精度物鏡转换器:采用精密軸承設計,秉承了麦克奥迪轻巧舒適的手感和良好的重复定位精度 及同心精度。
MET80L/MET120L 金相物鏡
名称 | 倍數 | 工作距離 | 數值孔徑 | 蓋玻片厚度 | 齊焦距離 |
长距暗场金相物鏡 | 5X | 17.3 | 0.13 | 0 | 45 |
10X | 16.3 | 0.25 | |||
20X | 7.3 | 0.4 | |||
50X | 7.2 | 0.55 | |||
100X | 2 | 0.8 | |||
明场金相物鏡 | 5X | 20.3 | 0.13 | ||
10X | 17.5 | 0.25 | |||
20X | 8.1 | 0.4 | |||
50X | 8.4 | 0.55 | |||
100X | 2 | 0.8 |
MET80L/MET120L標準配置表
MET80L | MET120L | |
光学系统 | CCIS無限遠色差校正光學系統 | |
目鏡 | 高眼點平場大視野,±5D視度調節,10X/20,明場可選(10X/22) | |
物鏡 | 長距明場金相物鏡 5X/0.13,10X/0.30,20X/0.40 | |
观察筒 | 30°傾斜铰鏈式雙目鏡筒;30°傾斜铰鏈式三目鏡筒 | |
双目鏡筒瞳距 | 55〜75mm | |
样品Max厚度 | M 38mm | |
物鏡转换器 | 内定位五孔物鏡轉换器 | |
中间体 | 12V50W 卤素灯明場落射照明, 12V50W 卤素灯明暗場落射照明, LED 明場落射照明, 全部采用反射式柯拉照明,带可調式可变視場光栏和可变孔径光栏,可配偏光附件 | |
偏光附件 | 附件式,檢偏器可360度旋轉,消光比M 10000 | |
粗微动调焦装置 | 粗微同軸調焦,粗動調焦3mm/轉,微動調焦0.1mm/轉,0.001mm/格。 | |
机械移动载物台 | 移動範圍:8”X8”mm選配:圓晶臺板 | 移動範圍:12"X 12"mm選配:圓晶臺板 |